Ion-beam sputter for high-k insulator deposition in ASDL

High-k 절연체 (HfO₂, ZrO₂ etc.) 박막 적층용 이온빔 스퍼터가 차세대 반도체 소자 연구실(ASDL)의 실험실 508호에 도입되었습니다.!
본 장비 활용으로 강유전성 트랜지스터 연구개발에 큰 도움이 될 것으로 기대됩니다.